在真空熱處理設(shè)備這個類別當(dāng)中，真空淬火爐是使用較為廣泛和具有代表性的典型設(shè)備，它具有以下一些特征：

1嚴(yán)格的真空密封眾所周知，真空熱處理時工件進(jìn)行加熱及淬火都在密閉的真空爐內(nèi)進(jìn)行，因此保證真空淬火爐的工作真空度，對確保零件真空熱處理的質(zhì)量有著非常重要的意義。為了保證真空爐的真空性能，爐體必須采用氣密焊接，上面開孔很少，以盡量減少真空泄漏的機(jī)會。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導(dǎo)出裝置也都是密封結(jié)構(gòu)。

2大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用真空淬火爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，這些材料具有耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導(dǎo)熱系數(shù)小等特點。如國內(nèi)現(xiàn)有真空淬火爐主要采用石墨作加熱與隔熱構(gòu)料，它在大氣狀態(tài)下被加熱極易氧化，因此，常規(guī)熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。3水冷裝置

3真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件（水冷電極）、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件根據(jù)不同的情況設(shè)置有水冷裝置，以保證真空爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。

4對工件加熱采用低電壓大電流

在真空熱處理爐內(nèi)，當(dāng)真空度到幾百帕(Pa)時，通電導(dǎo)體在較高的電壓下，就會產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象，嚴(yán)重的會產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80-100伏。同時電熱元件盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太窄等，以防止輝光放電或者弧光放電的發(fā)生。

5自動化程度高因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作都在真空熱處理爐內(nèi)進(jìn)行，操作人員無法接近。同時，有些動作如加熱保溫結(jié)束后，金屬工件進(jìn)行淬火工序須多個動作并且要在較短時間內(nèi)完成。在這樣迅速的條件來完成許多動作，是很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此，大部分真空淬火爐采用了較高的自動化程序來進(jìn)行控制。