真空燒結爐升降溫度的調節(jié)

  對于真空燒結爐的溫度調節(jié)點，很多人都比較關注運行實際的峰值溫度。燒結爐一個最佳溫度范圍，太高的話算為過燒，過低的話算是欠燒。這兩種情況都不是最佳的燒結效果。把握好溫度的控制是找到最佳燒結溫度范圍的關鍵點。如何判斷是欠燒還是過燒？請參考燒結爐上的電性能參數(shù)，可以通過它來判斷。

  欠燒時，穿透氮化硅的銀漿留有殘余，那么進入N型層的銀漿也比較少，歐姆接觸效果不好，會造成串聯(lián)的電阻較大。過燒時，銀的消耗量會較平時多一些，而且會形成有銀硅形成的混合層，這個混合層會起到阻礙的作用，同樣也會形成串聯(lián)的電阻過大。所以單單通過電阻不能推斷是欠燒還是過燒狀態(tài)。

  當無法判斷燒結的狀態(tài)時可以調節(jié)8區(qū)的溫度，找到大概的調節(jié)點，然后緩慢進行微調。微調的時候我們可以通過背場的狀態(tài)來判斷，如果背場微微鼓起，那么就是出于過燒，所以應微調降低溫度。

  在開始燒結之前要先確認每個加熱燈管是否可以正常運行。檢查各個溫區(qū)的燈管輸出的功率是否高于其他溫區(qū)燈管的平均值，來保證燒結的平均性。