真空熱處理爐的檢漏

  真空熱處理爐的真空系統(tǒng)檢漏是生產(chǎn)中經(jīng)常出現(xiàn)的一個(gè)大問題.關(guān)于檢漏技術(shù)有許多資料介紹.本文重點(diǎn)對(duì)真空系統(tǒng)在使用中出現(xiàn)故障時(shí)提出了處理方法，就是根據(jù)不同時(shí)間、條件進(jìn)行理論分析，可以判斷出漏氣可能產(chǎn)生的部位，找到漏孔.由現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)得知:用分析法找漏，比用檢漏儀檢漏即降低成本，又遷就了一般小廠不具備檢漏儀器的不足.而且此法找漏有時(shí)又快又準(zhǔn)確.

　　對(duì)于真空熱處理爐的檢漏,包括爐體和真空系統(tǒng)兩部分。當(dāng)爐體與真空系統(tǒng)裝配完了之后,無(wú)論其密封如何可靠,一般來(lái)說總是有些漏氣存在的。為此采用漏氣率大小作為熱處理爐的一個(gè)重要的性能指標(biāo)。漏氣率是指單位時(shí)間內(nèi)通過治漏孔進(jìn)人爐中的氣體流量,其單位是 Pa·L/s(或 Torr·L/s)。 目前國(guó)內(nèi)外對(duì)真空熱處理爐的漏氣率均采用壓力增長(zhǎng)率(升壓率)來(lái)表示。一般定為0.7Pa/h(或 5微米汞柱/時(shí))。只要小于或等于此數(shù)值,爐子的漏氣率為合格。我們希望漏氣率越小越好。因?yàn)樗軌蛴绊憼t室的極限真空度,同時(shí)也會(huì)使被處理工件表面氧化,降低光亮度。